江苏举办2024年产业计量技术创新挑战赛 南京一案例获评优秀

近日，江苏省市场监管局组织开展2024年产业计量技术创新挑战赛，现场公布了活动优秀合作案例。其中，南京市计量监督检测院“四探针电阻率测试仪校准及方阻关键参数量值溯源问题”解决方案成功入选。

据悉，南京市计量监督检测院在深入了解江苏芯德半导体科技股份有限公司等集成电路封测企业面临的薄层电阻溯源难题后，迅速联合市场监管总局石墨烯计量与标准技术创新中心，依托在研的电热领域石墨烯项目，全力开展四探针电阻率测试仪校准技术攻关与标准物质研制工作。

面对国外技术封锁的严峻形势，科研团队勇于创新，果断放弃使用硅片材料，选用氧化铟锡（ITO），通过磁控溅射技术制备薄膜并沉积二氧化硅阻挡层。历经近两年的稳定性考核，新研制的氧化铟锡玻璃在方阻阻值稳定性、测量数据精准度、表面阻值均匀性等方面均优于进口硅片，且材料坚固耐用，极大便利了计量人员校准操作，成功突破了发达国家在相关关键计量技术的实体封锁，建立了自主量传路径，有效解决了四探针电阻率测试仪校准等共性问题，提升了产品良品率，为产业链上下游企业带来显著效益。

下一步，南京市计量监督检测院将继续秉持服务企业、推动产业发展的宗旨，紧密聚焦企业计量测试需求与难题，进一步加快计量技术资源的深度融合与共享，积极促进计量科技成果的高效转化应用，为全省产业高质量发展提供更强劲、更精准的计量服务与技术保障。（宁市轩）